Technologie

• Höchste Präzision - Abtragungsraten und Positionsgeberauflösung im Nanometerbereich
• Grosse Flexibilität - Änderungen des Designs können kostengünstig und zeitsparend umgesetzt werden
• Skalierbarkeit - im Prinzip sind der Substratgrösse keine Grenzen gesetzt (erprobt bis Generation 6: 2000 x 1500 mm)
• Simply the Best - in vielen Fällen gibt es keine alternativen Technologien, insbesondere für spezielle Feature-Geometrien auf grossen Flächen

Wir beschränken uns allerdings nicht auf die Anwendung von Lasern. Unser Hintergrund in mechanischer Materialbearbeitung erlaubt uns, alternative Technologien oder Kombinationen von Technologien zu erwägen, um die optimale Lösung für Ihre Herausforderung in Mikrostrukturierung zu finden.

Erreichbare Eckdaten

• Seitliche Feature-Abmessungen: < 1 µm – 1000 µm
• Feature-Höhe bzw. -Tiefe: < 1 µm – 250 µm
• Flankenwinkel: 0° - 90°
• Schnelle Mikrolinsen f# < 1
• Beliebige Linsengeometrien (z.B. asphärisch, Fresnel, elliptisch)
• Grosse Vielfalt von optischen Geometrien (z.B. Mottenauge, Pyramiden, Prismen)
• Optische Oberflächenqualität (RMS < 20 nm)
• Enge Toleranzen für Feature-Geometrie (±0.3 µm)
• 100% Packungsdichte (beliebige Packung, z.B. hexagonal, rechteckig)
• Bearbeitung von grossen Flächen (erprobt bis 2000 mm x 1500 mm)
• Bearbeitungszeit: ~12h für 3 m2 Fläche mit 10 µm tiefen Strukturen